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镀膜——非金属镀膜

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镀膜——非金属镀膜





非金属镀膜:低应力的氮化硅薄膜窗口

使用物理化学方法把材料镀在衬底上。常见的镀膜工艺
有:磁控溅射,电子束蒸发,电镀,CVD,热氧化。