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探测器

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探测器



  金属探测器

  金属探测器微观图

探测器:通过利用多层光刻胶制造微细支撑结构,并在光刻胶结构中制造金属微网结构,
通过光刻显影和固化工艺,金属微网被固定在光刻胶柱中,形成均匀悬空于衬底电极上
方的另一电级。