产品介绍:
RDP-75正胶。
光源推荐:i-Line。
单层厚度:0.8-1.2um。
应用:
用作离子注入掩模的胶、应用于微机电系统、集成电路工艺。
特性:
● 高分辨率正胶
● 0.35um线宽、高分辨率、低驻波效应、垂直度好