产品介绍：
SU-8 3000系列，负性 Near UV(350-400nm)；
光源推荐：i-Line，也可用于E-beam，X-ray ；
单层厚度：5-100um；
SU-8 3000系列较SU-8 2000具有更好的基底粘附力，减少在工艺过程中产生内应力积累。
型号：
SU-8 3005/SU-8 3010/SU-8 3025/SU-8 3035/SU-8 3050
应用：
光电器件，微流体，MEMS芯片制作以及作为芯片绝缘，保护层使用。
特性：
● 分子量低
● 溶解度好
● 透明度高
● 可形成光滑膜层
● 玻璃化温度（Tg）低
● 粘度可降低
● 单次旋涂可得超厚膜层（650μm）
● 涂层厚度均匀
● 高宽比大（10:1）
● 耐化学性优异
● 生物相容性好（微流控芯片）
