产品介绍:
SU-8 2000系列,负性 Near UV(350-400nm);
光源推荐:i-Line,也可用于E-beam,X-ray;
单层厚度:0.5-650um。
型号:
SU-8 2000.5/SU-8 2000.2/SU-8 2007/SU-8 2010/SU-8 2015/SU-8 2025/SU-8 2035/SU-8 2050/SU-8 2075/SU-8 2150
应用:
SU-8常被用于微机械加工及其他微电子应用领域,如制作电镀模具,传感器,微纳结构等。
特性:
● 分子量低
● 溶解度好
● 透明度高
● 可形成光滑膜层
● 玻璃化温度(Tg)低
● 粘度可降低
● 单次旋涂可得超厚膜层(650μm)
● 涂层厚度均匀
● 高宽比大(10:1)
● 耐化学性优异
● 生物相容性好(微流控芯片)
